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静电吸盘在不同温度条件下均能保持稳定的吸附性能,这是其在多种工业应用中的重要特点。静电吸盘的吸附力主要由静电场产生,与温度变化的关系较小,因此在高温或低温环境中仍能有效固定工件。在半导体制造过程中,某些工艺如化学气相沉积(CVD)
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