超声波扫描显微镜(SAT)
超音波显微镜(SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的简称,又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope)。此检测为应用超音波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性来进行分析。
原理:
利用纯水当介质传递超音波讯号,当讯号遇到不同材料的接口会时会部分反射及穿透部分穿透,机台接收这些讯号组成影像。
检测模式:
A-scan (超音波讯号)
B-scan (二维反射式剖面检测 / 影像)
C-scan (二维反射式平面检测 / 影像)
Through-scan (穿透式检测 / 影像)
应用 / 特色:
一般用于package 内部接口是否有脱层(Delaminaiton) 或裂缝(Crack),SAT原理上可以检测到0.13 μm的微小gap。
IC package level structure analysis
IC package quality on PCBA level
PCB/IC substrate structure analysis
Wafer level structure analysis
WLCSP structure analysis
CMOS structure analysis
不同的样品其适用的检测探头不同,iST拥有目前全中国台湾相当完整的探头组合,从低频15 Mhz至高频230 Mhz及更高阶的UHF超高频探头。
探头应用 :
15 Mhz – DIP , PLCC , TO, QFP
35 Mhz – BGA , SOP8 , QFP , SOT223 , TO252
50 Mhz – QFN , TQFP, DFN
75 Mhz – TSSOP , Flash
110 Mhz –Wafer , Flip chip
230 Mhz –WLCSP , 3DIC
UHF – CMOS , WLCSP
关于宜特:
iST始创于1994年的中国台湾,主要以提供集成电路行业可靠性验证、失效分析、材料分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海,全球现已有7座实验室12个服务据点,目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。
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